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幾類金屬材料適合進行真空陽極氧化處理：
鋁及鋁合金：
鋁是常見且廣泛應用真空陽極氧化處理的金屬。鋁在自然環境中表面會自然形成氧化膜薄層，但這種自然氧化膜的防腐、耐磨等性能相對較差。通過真空陽極氧化處理，可以在鋁及其合金工件表面生成一層與基體結合牢固、厚度和性能更優的氧化鋁膜。這層氧化膜不僅能提高鋁制品的耐腐蝕性，在硫酸硬質陽極氧化條件下，其抗腐蝕的穩定性比用其他方法得到的高數十倍；還能增強耐磨性，在潤滑條件下，氧化膜的多孔性可吸附并存留潤滑油，改善摩擦條件；并且可以進行著色處理，獲得各種色彩，滿足不同的裝飾需求。
鎂及鎂合金：
鎂合金是金屬材料中輕的，具有比強度高等優點，在航空航天、電子設備等領域應用廣泛。但鎂合金的耐腐蝕性較差，容易發生腐蝕，特別是異種金屬接觸腐蝕和點蝕，所以需要進行表面處理來提高其耐腐蝕性。真空陽極氧化處理可以在鎂合金表面形成一層均勻、致密的氧化膜，有效阻擋外界腐蝕介質，提高其耐蝕性和耐磨性，改善其表面性能。
鈦及鈦合金：
鈦及鈦合金具有高強度、低密度、良好的耐腐蝕性等優異性能，在航空航天、醫療器械、化工等領域有著重要的應用。通過真空陽極氧化處理，可以在鈦及鈦合金表面形成一層具有干涉性的氧化鈦發色薄膜，不僅能提高其裝飾性，使顏色鮮亮勻稱，還能進一步增強其耐磨性和耐腐蝕性。而且這種氧化膜具有良好的生物相容性，在生物醫學領域也有廣泛的應用前景。
鉭：
鉭是一種稀有金屬，具有高熔點、高強度、良好的耐腐蝕性等特點。真空陽極氧化處理可以在鉭表面形成一層穩定的氧化膜，進一步提高其耐腐蝕性和絕緣性，使其在電子、化工等領域的應用更加可靠。